三甲基硼(混合氣)甲基硼 三甲硼[烷](CH3)3B
3B 三甲基硼(混合氣)甲基硼 三甲硼[烷](CH3)3B](/Content/UploadFiles/202204121725882.png)
三甲基硼烷 混合氣體 | |||
氣體名稱 | 混合氣體 | 混合比率 | |
三甲基硼烷 | TMB / H2 , N2 , Ar , SiH4 |
0.1%~10% |
三甲基硼烷 混合氣體 | |||
氣體名稱 | 混合氣體 | 混合比率 | |
三甲基硼烷 | TMB / H2 , N2 , Ar , SiH4 |
0.1%~10% |
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