電子高純特種氣體？遠創氣體大量供應
- 發布時間：2022-01-16
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電子氣體簡介
電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的一個重要分支，是集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、 LED、OLED）、太陽能(9.960, 0.13, 1.32%)電池等電子工業生產不可或缺的原材料。
通常半導體生產行業，將氣體劃分成常用氣體和特殊氣體兩類。其中，常用氣體指集中供給而且使 用非常多的氣體，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特種氣體指半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、 摻和、洗滌、遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，比如高純度的 SiH4、 PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2 等，在 IC 生產環節中，使用 的電子氣體有差不多有 100 多種，核心工段常見的在 30 種左右。正是這些氣體通過不同的制程使硅片具 有半導體性能，它又決定了集成電路的性能、集成度、成品率。即使是某一種某一個特定雜質超標，都將 導致質量嚴重缺陷，嚴重時會因不合格氣體的擴散，導致整個生產線被污染，乃至生產全面癱瘓。因此， 電子氣體是電子制造過程關鍵基礎材料，是名副其實的電子工業“血液”。
電子氣體的原料主要為空氣分離氣體、石油化工和煤化工生產過程中產生的低純度原料氣、廢氣和 其它基礎化工原料。主要原材料來源廣泛，市場供應充足，較容易從相關原材料供應廠家獲得。我國大型 煉鋼企業以及化肥企業基本配備了空氣分離設備，空分氣體供應量大且價格穩定。電子特種氣體對原料 氣體的消耗量占石油化工和煤化工原料氣產量的比例很小，穩定的石化和基礎化工行業能向電子特種氣 體行業提供充足的原材料?！笆濉币巹潓Νh境保護以及工業廢氣排放目標的進一步明確，上游行業的 供應將更為充足。氣體容器因能長期使用，在電子氣體成本中占比較低，價格波動對行業影響較小。
電子氣體的分類及應用
電子氣體種類繁多，在電子產品制作工藝中應用廣泛。目前常用的電子氣體純氣有 60 多種，混合氣 有 80 多種。電子氣體可分為純氣、高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、 摻雜和蝕刻等工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。
